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大尺寸脉冲激光沉积系统 Large-Area PLD Systems北京正通远恒科技有限公司

性能参数

产品名称: 大尺寸脉冲激光沉积系统 Large-Area PLD Systems
产品型号: Large-Area PLD Systems
产品规格: 套
产品产地: 美国
品牌商标: Neocera
价    格: 面议元
更新时间: 2023/1/30 17:06:10
浏览人数:2407
诚信指数:5点
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使用范围:仅限科研使用,不能应用于临床
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北京正通远恒科技有限公司
地址:
北京市朝阳区胜古中路2号院7号楼A座611室
邮编:
100029
所在区域:
北京·北京
电话:
010-64415767
传真:
010-64425485
联系人:
销售部
邮件:
公司展台:

产品详细描述

产品简介

Neocera大尺寸PLD系统用于在各种衬底上沉积各种高质量的薄膜,晶圆(wafer)直径可达8 "(200毫米)。基片旋转结合激光扫描提供整个晶圆区域的厚度均匀性。激光束扫描附件采用了独特的Neocera设计,当激光束扫描时,可以在目标上产生固定的激光通量(J/cm2)。当激光束通过目标表面扫描时,激光束扫描使用独特的扫描程序。激光位置在目标上的停留时间遵循逆速度程序,促进了薄膜厚度的良好控制。用户可以完全控制扫描参数的必要改变,厚度轮廓取决于沉积压力。


产品特点

•全自动大尺寸PLD系统

•晶圆尺寸:4 "(100毫米),6 "(150毫米)和8 "(200毫米)直径

•外延薄膜、多层异质结构和超晶格的沉积

•高温下氧化膜沉积的氧相容性

•自动激光扫描厚度均匀性


技术参数

1.衬底尺寸:(直径)4 " (100mm),6 " (150mm)和8 " (200mn)

2.PLD腔室尺寸:18英寸直径球体或圆柱体。

3.衬底加热:850 ℃(4 "wafers)),750℃(6 "wafers),700℃(8" wafers)

4.目标旋转: 直径4 × 2"

5.厚度均匀性: ±5%或更好。

6.工业气体: O2, N2, Ar, (MFC控制)

7.Loadlocks: 包括

8.自动化: Windows 7, LabView 2013

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