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RUIDU 科研型纳米压印光刻系统上海睿度光电科技有限公司

性能参数

产品名称: RUIDU 科研型纳米压印光刻系统
英文名称: RUIDU R&D Nanoimprint Lithography System
产品型号: RD-NIL100
产品规格: 睿度光电
产品产地: 上海
品牌商标: RUIDU
价    格: 咨询电话:021-51816409
更新时间: 2022/9/28 11:36:25
浏览人数:326
诚信指数:59点
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使用范围:仅限科研使用,不能应用于临床
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上海睿度光电科技有限公司
地址:
上海市杨浦区翔殷路128号上海理工大学国家大学科技园1号楼B座327
邮编:
200433
所在区域:
上海·上海
电话:
021-51816409
传真:
021-51816407
联系人:
周先生
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产品详细描述

系统说明 RUIDU 科研型纳米压印光刻系统 RD-NIL100


RUIDU 科研型纳米压印光刻系统 RD-NIL100 RD-NIL100,是一款桌面型纳米压印光刻系统。主要应用于微米或纳米结构的压印成型。

 

 系统特点 

•● 桌面型,4 / 6 / 8英寸可选

●• 热压印230℃,误差±2℃

•● 真空环境作业,<1mbar

●• 可压印分辨率<50nm图案

 

 技术参数 

  

可实现图案转移分辨率

分辨率<50nm,可同时实现UV紫外固化和热压印两种模式

压印精度控制及均匀性

在紫外固化模式下,可实现5:1深宽比,优异的压印高度均匀性

热压印

230℃;100°C/min升温速度;可以根据压印材料,通过软件实现不同温度控制

UV光源

配置i-line 365nm光源,光源能量值可达400mW/cm2

压力控制

真空腔≤100Pa;气压腔0.0-0.3bar,采用进口干泵机

压印平台

平整度TTV<5μm,确保长期的高精度、高稳定性

检测模块

配置气压及温度检测模块,与软件配套,可实现特定环境的控制

通讯接口

USB2.0标准计算机与仪器通讯接口

压印室尺寸

直径~105mm,高度~12mm(4寸)

应用软件

支持自定义 :可根据客户压印材料不同,控制不同气温,UV紫外照射时间及量

操作控制:提供简单易操作的控制流程,同时支持管理员模式更改个别需求参数

实时***:***压印腔体内的温度、压力数据,实时反映在***软件上

 

 典型应用 

•● DOE(人脸识别衍射元器件)

●• Diffuesr(扩散元器件)

•● AR波导片

●• 微透镜阵列

•● 微流控芯片

●• 微针
 

▲ 175nm宽度光栅

 T. 021-51816409
 E. service@rd-mv.com
 W. www.rd-mv.com
上海市杨浦区翔殷路128号上海理工大学国家大学科技园1号楼B座327

 

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