性能参数
产品名称： NSC-3500（A）全自动磁控溅射系统
英文名称： Sputter System
产品型号： NSC-3500（A）
产品规格： 台
产品产地： 美国
品牌商标： 那诺-马斯特/Nano-Master
价 格： 电议元
更新时间： 2023/5/29 10:29:10
浏览人数：4806
供应商： 那诺-马斯特中国有限公司
诚信指数：5点
了解更多：进入公司展台
使用范围：仅限科研使用，不能应用于临床
产品详细描述
磁控溅射技术
NSC-3500（A）全自动磁控溅射系统概述：带有水冷或者加热(可加热到700度)功能，可达到6"旋转平台，支持到3个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵，极限真空可达10-7 Torr，15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离，可以获得想要的均匀度和沉积速度。
NSC-3500（A）带有14”立方形不锈钢腔体，3个2”的磁控管，DC直流和RF射频电源。 在选配方面，350 l/s涡轮分子泵，额外的磁控管和衬底加热功能。
NSC-3500（A）全自动磁控溅射系统产品特点：
- 不锈钢腔体
- 260l/s或350l/s的涡轮分子泵，串接机械泵或干泵
- 13.56MHz，300-600W RF射频电源以及1KW DC直流电源
- 晶振夹具具有的<1 ?的厚度分辨率
- 带观察视窗的腔门易于上下载片
- 基于LabView软件的PC计算机控制
- 带密码保护功能的多级访问控制
- 完全的安全联锁功能
- 预真空锁以及自动晶圆片上/下载片
选配项：
- RF、DC溅射
- 热蒸镀能力
- RF或DC偏压（1000V）
- 样品台可加热到700°C
- 膜厚监测仪
- 基片的RF射频等离子清洗
应用：
- 晶圆片、陶瓷片、玻璃白片以及磁头等的金属以及介质涂覆
- 光学以及ITO涂覆
- 带高温样品台和脉冲DC电源的硬涂覆
- 带RF射频等离子放电的反应溅射
型号：
- NSC-4000：基于PC计算机全自动控制的独立式系统
- NSC-3500：基于PC计算机全自动控制的紧凑型独立式系统
- NSC-3000：PC计算机全自动控制的台式系统
- NSC-1000：半自动控制的台式系统
(以下为双系统型号)
- NSR-4000：溅射/RIE系统
- NSP-4000：溅射/PECVD系统
- NST-4000：溅射/热蒸发系统
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