性能参数
产品名称： NEE-4000（M）电子束蒸发系统
英文名称： E-Beam
产品型号： NEE-4000（M）
产品规格： 台
产品产地： 美国
品牌商标： 那诺-马斯特/Nano-Master
价 格： 电议元
更新时间： 2023/6/7 10:22:39
浏览人数：4974
供应商： 那诺-马斯特中国有限公司
诚信指数：5点
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使用范围：仅限科研使用，不能应用于临床
产品详细描述
电子束蒸发技术
NEE-4000（M）电子束蒸发系统概述：NANO-MASTER NEE-4000电子束蒸发系统为双腔体的配置，其中样品台位于主腔体内，二级腔体则用于安置电子束源。这种在两个腔体之间带有门阀的配置可以作为预真空锁，使得电子束源腔体保持真空的情况下，实现基片通过主腔体放入基片到样平台(或夹具)上或从中取出。在需要自动装/卸载基片时，他可以通过第三方的预真空锁来实现，这可以设置于立方体的左侧。通过PC计算机控制，系统可以提供多电子束源的共蒸发能力，以及对组分或组分梯度进行编程的能力。
NEE-4000（M）电子束蒸发系统特点：
- 顺序蒸发或共蒸发
- 双电子束源
- 多凹槽电子枪
- 可编程电子束扫描
- 10KW开关电源
- 涡轮分子泵，极限真空5x10-7Torr
- 手动上下载片，带预真空锁
- 材料和衬垫更换非常方便
- 晶振式膜厚监测仪
- 通过LabView软件实现PC计算机控制
- 菜单驱动，四级访问密码保护
- 完全的安全联锁
产品型号：
- NEE-3500：计算机全自动控制的紧凑型独立系统
- NEE-4000：计算机全自动控制的独立系统
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